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SRBZ820C-SMSX
关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,逢迎个性化设想具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特性,耐高温、耐腐化,静态纠偏和碰撞庇护功用。

简介

Introduction

接纳先辈的直驱机电驱动手艺,具有乐音小、振动小、运转安稳、精度高档特性。具有更活络的碰撞庇护功用,有用庇护机械手和客户晶圆。全新的轨迹计划,进步活动节奏,进步了用户产能。安全区庇护等功用有效地进步了产物的宁静品级。在半导体前道高端装备中普遍使用,对装备可靠性要求高。灵敏的本地化、可定制化效劳,快速呼应的售后服务,以及矮壮的手艺实力,是我们的次要竞争力。鞭策了海内半导体产业链的前进,有用的支持了海内装备商的开展。


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参数

Parameter

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